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              AHYR2110F_4軸真空直驅雙臂R型晶圓搬運機器人

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              AHYR2110F_4軸真空直驅雙臂R型晶圓搬運機器人

              AHYR2110F_4軸真空直驅雙臂B型晶圓搬運機器人,自主研發(fā)安全可控,可全面替代進口品牌。

              產品描述


              4軸真空直驅雙臂R型晶圓搬運機器人
              AHYR2110F_AHY系列半導體機器人
               
              • ● 高可靠真空隔離,從容應對高真空環(huán)境
              • ● 電機直接驅動機器人運動,提升運行可靠性
              • ● 高強度高剛性鋼帶傳動,實現(xiàn)手臂高傳動精度
              • ● 采用閉環(huán)伺服控制,實現(xiàn)高精度位置控制

              臂長

              213.4mm

                額定/最大負載

               ≤1kg

              搬運物

              ≤Φ300mm晶圓

              新時達眾為興AHYR4210F_4軸真空直驅雙臂R型晶圓搬運機器人

              關鍵詞:

              新時達眾為興AHYR4210F_4軸真空直驅雙臂R型晶圓搬運機器人

              規(guī)格參數(shù)

              新時達眾為興AHYR2110F_4軸真空直驅雙臂R型晶圓搬運機器人