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              TBA4030F-07-09_4軸大氣圓柱坐標雙臂晶圓搬運機器人

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              • TBA4030F-07-09_4軸大氣圓柱坐標雙臂晶圓搬運機器人

              TBA4030F-07-09_4軸大氣圓柱坐標雙臂晶圓搬運機器人

              TBA4030F-07-09_4軸大氣圓柱坐標雙臂晶圓搬運機器人,自主研發(fā)安全可控,可全面替代進口品牌。

              產(chǎn)品描述


              4軸大氣圓柱坐標雙臂晶圓搬運機器人
              TBA4030F-07-09_TBA系列半導(dǎo)體機器人
               
              • ● 采用閉環(huán)伺服控制
              • ● 可根據(jù)設(shè)備布局定制臂長及Z軸行程
              • ● 可選配免電池絕對式編碼器
              • ● 可選mapping傳感器類型:對射式、反射式
              • ●可選末端執(zhí)行器類型:真空吸附式、夾持式、翻轉(zhuǎn)吸附式

              臂長

              200/260/320/400mm

                額定/最大負載

               3kg

              搬運物

              ≤Φ300mm晶圓

              新時達眾為興TBA4030F-07-09_4軸大氣圓柱坐標雙臂晶圓搬運機器人

              關(guān)鍵詞:

              新時達眾為興TBA4030F-07-09_4軸大氣圓柱坐標雙臂晶圓搬運機器人

              規(guī)格參數(shù)

              新時達眾為興TBA4030F-07-09_4軸大氣圓柱坐標雙臂晶圓搬運機器人


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